精密恆溫恆濕工程

性能條件

  常用範圍
(℃DB,%RH)
運轉精度
(℃DB,%RH)
換氣次數
(回/hr)
吸入溫度變化範圍
(℃DB,%RH)
精密恆溫恆濕 18~28℃,45~60% ±0.5℃,±2.5%RH 50~60 ±2℃,±5%RH
超精密恆溫恆濕 18~28℃,45~60% ±0.2℃,±1%RH 100~120 ±2℃↓,±5%↓RH

 

歷時曲線

溫度±0.2℃

 

濕度±1%RH

 

適用產業

半導體業、TFT-LCD產業、光學產業、製藥業、化妝品業..

精密加工室:光學加工機、奈米加工機

精密量測室:三次元量測機、雷射長度量測機